精密・高品質な特殊炭素製品 高度な技術力と当社独自のノウハウを結集。

東海カーボン(株)製の高品質な炭素素材に精密な加工をした炭素製品は、半導体の製造及びその関連産業等のハイテク分野になくてはならない材料です。
高度な技術力と当社独自のノウハウを生かした製品は、永年高い評価をいただいています。
また、超高純度仕様品、および加工後の純水による超音波洗浄にも対応いたします。

主な用途半導体製造装置用黒鉛部品
イオン注入装置用部材・MOCVD用サセプター・歯車・ヒーター・ボート等・焼結用治具・トレー等
その他シビアな寸法精度が必要な微細加工を主としています。
カーボン以外の加工・表面処理
カーボン以外にも、セラミック材、ガラス状カーボン等難削材の加工にも取り組んでいます。
カーボン製品の表面処理もガラス状カーボンコート、SICコート等対応可能です。
また、カーボン材の特性・設計につきましても、ご相談ください。